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拓荆科技

688072 · A 股

拓荆科技向晶圆厂和存储厂提供薄膜沉积与先进键合设备，产品覆盖 PECVD、ALD、混合键合及键合修复等环节。其收入主体仍是 PECVD 系列，ALD 与先进封装设备构成新工艺扩展；2025 年至 2026 年初，公司先后推出 Dione 300F、Pleione、Lyra、Crux300 以及 VS 300 Astra-s SiN 等新型号。三层设备共同服务先进制程和三维集成需求，使公司从单一 PECVD 设备商向薄膜沉积与键合工艺平台延伸

第二层 · 芯片系统半导体设备与核心材料中国沈阳

拓荆科技（688072.SH）

拓荆科技是中国半导体薄膜沉积设备厂商，卡位晶圆制造前道介质沉积环节，凭 PECVD、ALD 与先进键合设备进入国产替代主线。 营业收入从 2020 年 ￥4.4 亿元增至 2025 年 ￥65.19 亿元；2025 年 PECVD 系列设备收入 ￥51.42 亿元，合同负债 ￥48.52 亿元。

一、主营业务与产品矩阵

  • PECVD（核心）拓荆科技 PECVD 设备覆盖介质薄膜沉积，并推出低介电薄膜 PECVD 等高端型号。2024 年薄膜沉积设备业务收入 ￥39 亿元，2025 年 PECVD 系列设备收入增至 ￥51.42 亿元，同比增长 75.27%。
  • ALD（新工艺）ALD/PEALD 线以 VS 300 Astra-s SiN 等原子层沉积设备为代表，2025 年 ALD 设备销售收入 ￥3.01 亿元，同比增长 191.82%。上海临港半导体先进工艺装备研发与产业化项目于 2025 年 6 月投入使用，形成先进 ALD 设备研发与产业化基地。
  • 先进封装与键合设备2025 年 3 月发布 Dione 300F 低形变熔融键合、Pleione Die-to-Wafer 混合键合、Lyra 激光剥离、Crux300 键合套准精度量测设备；2026 年 3 月推出精准修复设备。2025 年混合键合设备营业收入 ￥1.36 亿元，同比增长 41.92%。

二、产业链位置

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所属半导体设备与核心材料
上游 · 谁给它供货2 个环节
半导体设备与核心材料先锋精科 · 中科仪
其他恒运昌
下游 · 谁在采购4 个环节
存储体系长江存储2 家 · 长鑫存储
半导体设备与核心材料厦门联芯 · 华虹集团 · 燕东微电子
其他中芯国际2 家
研报还提到长鑫科技2 家 · 存储设计、半导体设备及材料
竞争对手7 家
北方华创2 家 · 盛美上海2 家 · 迈为股份2 家 · 中科仪2 家 +2 · 中微公司2 家 · 中科飞测
研报还提到微导纳米2 家 · 半导体设备

三、竞争格局

薄膜沉积设备市场由海外设备厂商与国内设备厂商共同竞争，拓荆科技在国内厂商中形成 PECVD 收入规模，2025 年 PECVD 系列设备收入 ￥51.42 亿元，并向 ALD 与先进键合延伸。北方华创、中微公司、盛美上海同样布局薄膜沉积设备，迈为股份、芯源微布局先进键合及配套量检测环节。

拓荆科技的压力来自新产品验证成本与同业追赶。2025 年前三季度毛利率 33.28%，同比下降 10.31 个百分点，公司解释为新产品及新工艺收入占比提升、客户验证阶段成本较高；若新设备规模量产不及预期，毛利率修复会受拖累。

四、经营数据

指标 2022 2023 2024 2025E 2026E 2027E 来源
半导体专用设备营收（百万元） 1,685 2,634 3,958 6,105 7,957 9,799 东海证券
半导体专用设备营收同比增速（%） 126.15 56.32 50.25 54.24 30.32 23.16 东海证券
半导体专用设备毛利率（%） 49.21 46.76 40.90 35.38 36.46 38.59 东海证券

数据来源：东海证券 2026-01-27；开源证券 2026-01-09。

盈利预测

研报数据 · 11-07 更新 · 点数字看原文出处

每格是近 180 天各家最新预测的中位数，下一行是最低—最高和家数。已公布的实际数见「行情与财报」。

指标2026E2027E2028E
归母净利润（亿元）17.301 家25.301 家30.301 家
EPS（元）5.885.55–6.85 · 3 家8.568.54–9.52 · 3 家12.2111.29–13.14 · 2 家
按机构看 · 归母净利润（亿元）
机构2026E2027E2028E日期
东吴证券08-03
按机构看 · EPS
机构2026E2027E2028E日期
华龙证券10-13
华源证券07-16
华鑫证券—06-02

行情与财报

五、投资视角：多空逻辑

多头 · 催化
订单能见度截至 2025 年末合同负债 ￥48.52 亿元，较 2024 年末增长 62.66%，在手订单 ￥110 亿元。
核心产品放量2025 年 PECVD 系列设备收入 ￥51.42 亿元，同比增长 75.27%，仍是收入主引擎。
新工艺弹性2025 年 ALD 设备收入 ￥3.01 亿元，同比增长 191.82%，混合键合设备收入 ￥1.36 亿元，同比增长 41.92%。
产能与资本动作上海临港 ALD 研发产业化项目 2025 年 6 月投用，2025 年 12 月披露定增修订稿，支撑先进工艺装备投入。
空头 · 风险
毛利率下台阶2025 年前三季度毛利率 33.28%，同比下降 10.31 个百分点，低于 2022 年 49.27% 高点。
新产品验证成本新产品及新工艺收入占比提升，客户验证阶段成本较高，毛利率改善依赖新设备规模量产。
收入结构集中PECVD 仍是收入主体，ALD 和混合键合设备收入规模仍小于 PECVD。
竞争挤压海外设备厂商和国内北方华创、中微公司、盛美上海、迈为股份等均在布局薄膜沉积或键合设备。

六、近期动态（倒序）

研报数据 · 11-07 更新 · 近 120 天，同一件事多家机构写到的合成一条

2026-10
拓荆科技对芯丰精密进行股权投资。（国金证券）
2026-10
拓荆科技W2W混合键合设备获得客户复购订单并实现量产应用。（国金证券）
2026-10
拓荆科技上海二厂投入使用，用于先进ALD设备及工艺研发和半导体设备产业化。（国金证券）
2026-10
拓荆科技拟发行股份及支付现金收购三家公司相关股份，并募集配套资金。（东海证券 · 华龙证券）
2026-10
拓荆科技披露购买资产及配套融资事项进展，审计评估尚未完成。（华龙证券）
2026-08
新生产基地设计产能600台/年，完全达产后理论总产能约1100台/年。（东吴证券）
2026-08
拓荆科技在2026 Semicon发布多款ALD、PECVD及Gap-fill系列新设备。（东吴证券）

数据来源

  • 华源证券《半导体真空系统“卖铲人”，产业+科研双轮驱动，国产替代正当时》2026-07-16
  • 国金证券《半导体设备深度：超级扩产周期开启，设备迎来超级时代》2026-07-10
  • 国金证券《模型、算力、FAB、设备共振计算机业研究》2026-06-29
  • 万联证券《2026年中期电子行业投资策略报告：AI风驰宇，芯浪起东方》2026-06-26
  • 开源证券《北交所首次覆盖报告：中科院真空设备龙头：打破海外垄断，半导体+光伏双驱迎来高增长》2026-06-15
  • 华鑫证券《半导体行业周报：华为发布韬定律，长鑫科技IPO过会》2026-06-02
  • 万联证券《电子行业跟踪报告：AI算力和半导体自主可控受SW电子基金持续关注，配置趋向多元化》2026-05-25
  • 东吴证券《半导体设备2025年报&2026年一季报总结：前后道设备商业绩持续高增，看好先进产能扩产&设备国产化率提升》2026-05-19
  • 子行业全景见 半导体设备与核心材料