华海清科（688120.SH）
华海清科是中国半导体 CMP 设备与平坦化工艺装备供应商，卡位晶圆制造前道关键设备环节，以国产 CMP 平台切入晶圆制造客户，并向清洗、离子注入等设备平台扩展。 2025 年公司营业收入 46.48 亿元，2020—2025 年营业收入复合增长率 64.5%；2024 年 CMP/划切装备收入 29.87 亿元，占营业收入 87.7%。
一、主营业务与产品矩阵
- CMP 与平坦化装备（核心）公司主业是化学机械抛光等平坦化设备，并包含划切装备；产品组合从成熟制程 CMP 向先进制程 CMP 延伸。2024 年 CMP/划切装备收入 29.87 亿元，占营业收入 87.7%；2025 年半导体装备收入 40.54 亿元，占营业收入 87%。
- 清洗装备围绕先进制程和先进封装，公司拓展单片清洗等湿法装备。新一代单片清洗平台 HSC-D3812 采用双层隔离架构和多化学液处理能力，最高可扩展至 20 腔体，产能可达 1000 wph。
- 离子注入装备公司在已有成熟大束流离子注入基础上开发 12 英寸高温和低温机型。iPUMA-HT 工艺温度可达 400℃以上，iPUMA-LT 工艺温度可达 -100℃，面向先进制程器件工艺需求。
- 配套材料与技术服务配套材料及技术服务业务与设备主业形成工艺耗材和服务协同。2024 年该业务收入 4.19 亿元，同比增长 81.92%。
二、产业链位置
在图谱里看 →三、竞争格局
全球 CMP 设备市场长期由应用材料、日本荏原等海外厂商主导，竞争核心不只是单机，而是设备、抛光工艺、耗材和产线验证的整体方案。华海清科的相对位置是国产 CMP 平台：2024 年 CMP/划切装备收入 29.87 亿元，2025 年半导体装备收入 40.54 亿元，收入体量已构成国产设备阵营中的重要一极。 公司的壁垒在于 CMP 工艺积累、先进制程设备放量，以及向清洗、离子注入和配套材料服务扩展的平台化能力；短板同样明确，离子注入等新业务尚未形成与 CMP 相当的收入支柱，应用材料、亚舍立等在离子注入环节积累深厚，若国内晶圆厂资本开支放缓或先进制程验证进度不及预期，增长弹性会下降。
四、经营数据
| 指标 | 2023 | 2024 | 2025 | 2026E | 2027E | 2028E | 来源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 主营收入（百万元） | 2,508 | 3,406 | 4,648 | 6,151 | 7,818 | 9,629 | 东海证券 |
| 毛利率（%） | 43.55 | 43.20 | 41.81 | 42.02 | 42.15 | 42.56 | 东海证券 |
| 每股盈利（元） | 2.05 | 2.89 | 3.06 | 4.00 | 5.22 | 6.72 | 东海证券 |
| 市盈率（倍） | 98.04 | 69.33 | 65.47 | 50.14 | 38.45 | 29.84 | 东海证券 |
数据来源：东海证券 2026-05-08。
盈利预测
研报数据 · 11-07 更新 · 点数字看原文出处
每格是近 180 天各家最新预测的中位数，下一行是最低—最高和家数。已公布的实际数见「行情与财报」。
| 指标 | 2026E | 2027E | 2028E |
|---|---|---|---|
| EPS（元） | 2.822.81–2.83 · 2 家 | 3.723.69–3.75 · 2 家 | 4.844.81–4.88 · 2 家 |
按机构看 · EPS
| 机构 | 2026E | 2027E | 2028E | 日期 |
|---|---|---|---|---|
| 华龙证券 | 10-13 | |||
| 华源证券 | 07-16 |
行情与财报
五、投资视角：多空逻辑
多头 · 催化
CMP 基本盘已上量2025 年营业收入 46.48 亿元，半导体装备收入 40.54 亿元，占营业收入 87%，2020—2025 年营业收入复合增长率 64.5%。
平台化打开第二曲线HSC-D3812 单片清洗平台最高产能 1000 wph，iPUMA-HT/iPUMA-LT 将产品从 CMP 延伸到 12 英寸高温/低温离子注入。
材料与服务增强黏性2024 年配套材料及技术服务收入 4.19 亿元，同比增长 81.92%，设备装机后可形成持续耗材与服务需求。
先进制程设备储备先进 CMP、工艺温度 400℃以上的高温离子注入机和 -100℃的低温离子注入机，为国内晶圆厂工艺升级提供国产选项。
盈利预测仍处高增通道东海证券预测 2026—2028 年营业收入 61.51/78.18/96.29 亿元，归母净利润 14.15/18.45/23.78 亿元（东海证券，2026-05-08）。
空头 · 风险
收入确认受扩产周期影响设备订单和验收节奏跟随晶圆厂资本开支，2026Q1 营业收入 12.01 亿元、归母净利润 2.47 亿元，单季收入低于 2025Q4 的 14.54 亿元。
海外巨头平台化竞争应用材料、日本荏原在 CMP 环节积累深厚，应用材料、亚舍立在离子注入环节具备成熟平台，先进制程客户切换成本高。
新品类尚未形成第二支柱清洗和离子注入装备已有型号与参数，但证据未给出独立收入体量，商业化规模仍需验证。
毛利率已有波动2023—2025 年毛利率分别为 43.55%、43.20%、41.81%，2026Q1 为 42.31%，产品结构变化可能影响盈利质量。
估值消化压力按华源证券盈利预测，2026E/2027E/2028E PE 分别为 102.5/78.5/60.3 倍（华源证券，2026-07-16）。
近期动态
研报数据 · 11-07 更新 · 近 120 天，同一件事多家机构写到的合成一条
2026-10
华海清科向特定对象发行A股新增股份完成登记。（华龙证券）
2026-08
上海基地预计2028年建成，新增半导体装备产能150台/年及晶圆再生20万片/月。（东吴证券）
数据来源
- 国金证券《公司深度研究：筑牢模拟测试基本盘，SoC打开成长新空间》2026-07-21
- 华源证券《半导体真空系统“卖铲人”，产业+科研双轮驱动，国产替代正当时》2026-07-16
- 开源证券《北交所首次覆盖报告：中科院真空设备龙头：打破海外垄断，半导体+光伏双驱迎来高增长》2026-06-15
- 国金证券《半导体配套设备国产替代领军者，先发卡位优势显著》2026-05-22
- 东海证券《公司深度报告：先进CMP设备放量突破，平台化战略引领协同发展》2026-05-08
- 爱建证券《跟踪报告：短期利润承压不改成长逻辑，平台化布局驱动长期空间》2026-04-23
- 西南证券《半导体真空设备龙头，国产替代与下游扩产驱动业绩稳健增长》2026-04-21
- 开源证券《北交所新股申购报告：半导体核心真空泵突破先进制程，中科院“小巨人”加速国产替代》2026-04-12
- 子行业全景见 半导体设备与核心材料