中科仪
中科仪是中国半导体设备与核心材料环节的专业真空设备厂商，核心卡在集成电路制造所需的洁净真空与超高真空环节。 公司以干式真空泵为主体，2024 年干式真空泵销售收入占营业收入比例超过 70%；同时拥有三个国家级研发平台，长期承担国家重大科技专项。
一、主营业务与产品矩阵
- 集成电路干式真空泵（核心）面向集成电路制造中的真空工艺环节，是公司收入主体。2024 年干式真空泵销售收入占营业收入比例超过 70%，2022-2025 年该产品毛利率介于 24.23% 至 31.58%。2025 年上半年，集成电路领域干式真空泵产品中苛刻工艺收入达 ￥20,592 万元。
- 真空科学仪器与科研装置（技术源头）公司长期专注洁净真空和超高真空技术，形成真空科学仪器设备能力，2025 年上半年真空薄膜仪器设备毛利率达 32.17%。其拥有三个国家级研发平台，先后 4 次承担国家极大规模集成电路制造装备及成套工艺（02 专项），并获国家科学技术进步奖共 6 项。
- 光伏及工业真空应用（周期补充）干式真空泵向光伏等工业场景延伸，与半导体主线共用真空技术平台。2023-2025 年，光伏领域干式真空泵产品收入分别为 ￥17,550.23 万元、￥10,517.29 万元和 ￥5,308.94 万元，受光伏行业景气度下行影响明显收缩。
二、产业链位置
在图谱里看 →下游 · 谁在采购4 个环节
半导体设备与核心材料北方华创 · 东京电子3 家 · ASML3 家 · Lam Research3 家 +2 · Applied Materials3 家 · KLA3 家
其他大连Intel · 日立3 家 · 深圳市鹏芯微集成电路制造 · 中芯国际集成电路制造 +2 · 隆基绿能科技 · 上海积塔半导体
三、竞争格局
半导体干式真空泵市场长期由荏原制作所、Edwards、Kashiyama 等海外厂商主导，国内汉钟精机、鲍斯股份、通嘉科技等亦参与竞争。中科仪的位置不是全品类通用泵，而是依托中科院真空科研平台切入集成电路制造环节，形成对长鑫存储、长江存储等本土半导体厂的配套能力。
公司壁垒来自国家级研发平台、长期真空技术积累和国产替代窗口；短板同样明显：综合毛利率下行，光伏干泵收入收缩，利润受非经常性因素和下游资本支出周期影响较大。海外龙头与国内竞争者同时存在，使其份额与盈利稳定性仍需持续验证。
四、盈利预测
研报数据 · 11-07 更新 · 点数字看原文出处
每格是近 180 天各家最新预测的中位数，下一行是最低—最高和家数。已公布的实际数见「行情与财报」。
| 指标 | 2026E | 2027E | 2028E |
|---|---|---|---|
| 营业收入（亿元） | 16.3015.97–16.63 · 2 家 | 22.4522.00–22.89 · 2 家 | 29.4929.04–29.94 · 2 家 |
| 归母净利润（亿元） | 2.262.26–2.27 · 2 家 | 2.722.64–2.80 · 2 家 | 3.333.14–3.53 · 2 家 |
| EPS（元） | 1.011.01–1.02 · 3 家 | 1.181.18–1.25 · 3 家 | 1.401.40–1.58 · 3 家 |
按机构看 · 营业收入（亿元）
| 机构 | 2026E | 2027E | 2028E | 日期 |
|---|---|---|---|---|
| 华源证券 | 07-16 | |||
| 开源证券 | 06-15 |
按机构看 · 归母净利润（亿元）
| 机构 | 2026E | 2027E | 2028E | 日期 |
|---|---|---|---|---|
| 华源证券 | 07-16 | |||
| 开源证券 | 06-15 |
按机构看 · EPS
| 机构 | 2026E | 2027E | 2028E | 日期 |
|---|---|---|---|---|
| 开源证券 | 07-16 | |||
| 华源证券 | 07-16 | |||
| 国信证券 | 06-25 |
五、投资视角：多空逻辑
多头 · 催化
科研平台抬高技术门槛拥有三个国家级研发平台，并多次承担国家重大科技专项，真空科学仪器与产业设备形成同源技术复用。
收入台阶已上移营业收入从 2022 年 ￥6.98 亿元增至 2025 年 ￥12.91 亿元，2022-2025 年复合增长率超过 20%。
扣非利润连续改善扣非归母净利润从 2022 年 ￥6,186.11 万元增至 2025 年 ￥10,297.96 万元，主业盈利呈改善趋势。
高端工艺环节开始放量2025 年上半年，集成电路领域干式真空泵产品中苛刻工艺收入达 ￥20,592 万元。
空头 · 风险
利润波动与非经常性扰动归母净利润 2023 年 ￥6.00 亿元、2024 年 ￥1.93 亿元、2025 年 ￥8.44 亿元，而 2025 年扣非归母净利润为 ￥1.03 亿元，利润质量不稳定。
毛利率持续回落综合毛利率从 2023 年 33.02% 降至 2025 年 26.78%，干式真空泵毛利率从 2023 年 31.58% 降至 2025 年 24.23%。
光伏下游拖累光伏领域干式真空泵收入从 2023 年 ￥17,550.23 万元降至 2025 年 ￥5,308.94 万元，显示非半导体业务受行业景气下行冲击。
海外与国内竞争挤压荏原制作所、Edwards、Kashiyama 等海外厂商长期占据真空设备市场，汉钟精机、鲍斯股份、通嘉科技等国内企业也在干式真空泵领域竞争。
客户集中与资本支出周期2022-2025 年前五大客户收入占比介于 41.84% 至 44.06%，业绩易受主要客户扩产节奏影响。
近期动态
研报数据 · 11-07 更新 · 近 120 天，同一件事多家机构写到的合成一条
2026-10
中科仪拟使用自筹资金实施集成电路干式真空泵扩产项目。（开源证券）
2026-09
研发中心计划研发集成泵组系统及产能7片6英寸的大尺寸分子束外延设备。（东莞证券）
2026-09
拟建设高端半导体设备生产、研发及配套设施，提升技术水平与生产能力。（东莞证券）
2026-09
中科仪完成IPO，募集资金净额约7.79亿元，用于扩产与研发项目。（东莞证券）
2026-08
中科仪在北交所上市。（开源证券）
2026-07
中科仪参与上海光源国家重大科学工程并提供核心技术装备。（华源证券）
2026-07
公司承接巴西SIRIUS光源真空波荡器项目。（华源证券）
数据来源
- 华源证券《半导体真空系统“卖铲人”，产业+科研双轮驱动，国产替代正当时》2026-07-16
- 开源证券《北交所策略专题报告：长鑫科技上市在即，北证半导体22家配套迎催化关注中科仪、坤博等》2026-07-12
- 国信证券《立足废气治理，打造半导体厂务系统服务商》2026-06-25
- 山西证券《国产半导体真空泵龙头，技术壁垒深厚，为“专精特新”小巨人》2026-04-28
- 东吴证券《半导体干式真空泵国产替代龙头，募投产能释放与技术迭代共驱成长》2026-04-24
- 西南证券《半导体真空设备龙头，国产替代与下游扩产驱动业绩稳健增长》2026-04-21
- 华源证券《专注真空装备技术，干式真空泵配套长鑫、长存等半导体本土领军者》2026-04-14
- 开源证券《北交所策略专题报告：中科仪将询价北证半导体产业链扩至18家，关注同惠电子等测试仪器标的》2026-04-13
- 子行业全景见 半导体设备与核心材料