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华特气体

国产电子特气龙头，能稳定量产 230+ 种半导体特气，入 台积电 / 中芯国际 / 长江存储 / 长鑫存储 / ASML（部分激光气源），打破日本 / 美国 / 德国四巨头（Air Products / Linde / Air Liquide / Taiyo Nippon Sanso）垄断。

一句话定位

A 股 688268.SH，2020 年科创板上市。专注高纯度 电子特气，全产品矩阵涵盖刻蚀 / 沉积 / 掺杂 / 清洗 / 光刻气，是中国少数 ArF / KrF 准分子激光气源（Ne / Kr / F₂ 混合气）供应商，已进入 ASML 全球 fab 的部分激光气配套，被国家大基金 / 大基金二期 / 哈勃投资多轮看好。

关键数据

数据来源：2-10 半导体设备与核心材料深度

核心产品

1. 准分子激光气源 ★★★★★：ArF（193nm）/ KrF（248nm）混合气，Ne / Kr / Ar / F₂ 混合配比 — 进入 ASML 全球供应链
2. 刻蚀 / 清洗气：NF₃、SF₆、C₄F₆、C₄F₈、CF₄、CHF₃、HBr、Cl₂
3. 沉积气：WF₆、SiH₄、Si₂H₆、TEOS、NH₃
4. 掺杂气：B₂H₆、PH₃、AsH₃、BF₃
5. 稀有气体：He（依赖进口）、Ne、Kr、Xe（俄乌后供应链承压）
6. 现场制气 on-site + 气体输送系统集成

技术亮点

• 准分子激光气源 — 进入 ASML 全球供应链，中国唯一在该品类突破国际寡头的厂商
• 6N–7N 纯度 — 在 NF₃ / C₄F₆ 等先进刻蚀气达到 6N–7N，8N WF₆ 在攻关
• 230 种全谱系 — SKU 数量国内第一，可单点替代日美欧
• gas cabinet 集成能力 — 不只卖气，还配套切换柜 + 现场服务

AI 时代角色

• AI 算力 3nm/2nm 先进制程量产 → 准分子激光气需求随 fab 数量翻倍
• HBM / 3D NAND 扩产 → NF₃ / C₄F₆ / WF₆ 在中国 fab 用量倍增
• 国产替代政策推动 长江存储 / 长鑫存储 / 中芯国际 优先采购国产气
• 与 凯美特气 / 金宏气体 / 南大光电 / 巨化股份 形成中国电子特气方阵

典型客户

↓ down::台积电 Intel 美光科技 三星电子 SK海力士 中芯国际 长江存储 长鑫存储 华虹半导体 ASML

与 AI 产业链关系

↑ up::巨化股份（部分氟化原料）液空 / 气源进口 He 来源 ⚔ competitor::Air Products Linde Air Liquide Taiyo Nippon Sanso 金宏气体 凯美特气 南大光电 ∈ belongs_to::2-10-半导体设备与核心材料 ∈ belongs_to::第二层-芯片系统

下游主战场：2-01-核心逻辑芯片 / 2-04-存储体系 / 2-05-先进封装

关键事件

• 1999 — 佛山华特气体创立
• 2017 — 通过 ASML 准分子激光气全球认证
• 2020-12 — 科创板上市（688268.SH）
• 2022 — 进入 台积电 多品类气体供应链
• 2023+ — 大基金二期 / 哈勃投资多轮注资 加码电子特气板块
• 2024 — 进入 长江存储 / 长鑫存储 主力供应链
• 2025 — 8N WF₆ / NF₃ 攻关、对标 APD / Linde

风险点

1. 高端 8N 仍依赖进口
2. He / Ne / Kr 上游被俄罗斯 / 卡塔尔 / 美国控制
3. 估值偏高 — PE 长期 50+
4. 设备级 gas cabinet 系统集成与 正帆科技 / 至纯科技 重叠竞争