中科仪

中科仪是中国半导体设备与核心材料环节的专业真空设备厂商，核心卡在集成电路制造所需的洁净真空与超高真空环节。 公司以干式真空泵为主体，2024 年干式真空泵销售收入占营业收入比例超过 70%；同时拥有三个国家级研发平台，长期承担国家重大科技专项。

一句话看懂

中科仪以干式真空泵和真空科学仪器为主体，串联集成电路制造、光伏等下游真空工艺需求。其技术路径从洁净真空、超高真空科研装置延伸到集成电路先进制程用干式真空泵，再向光伏等工业真空场景扩展。公司的重要性在于中科院真空技术平台与本土半导体厂配套形成的国产替代位置。

集成电路干式真空泵（核心）：面向集成电路制造中的真空工艺环节，是公司收入主体。2024 年干式真空泵销售收入占营业收入比例超过 70%，2022-2025 年该产品毛利率介于 24.23% 至 31.58%。2025 年上半年，集成电路领域干式真空泵产品中苛刻工艺收入达￥20,592 万元。
真空科学仪器与科研装置（技术源头）：公司长期专注洁净真空和超高真空技术，形成真空科学仪器设备能力，2025 年上半年真空薄膜仪器设备毛利率达 32.17%。其拥有三个国家级研发平台，先后 4 次承担国家极大规模集成电路制造装备及成套工艺（02 专项），并获国家科学技术进步奖共 6 项。
光伏及工业真空应用（周期补充）：干式真空泵向光伏等工业场景延伸，与半导体主线共用真空技术平台。2023-2025 年，光伏领域干式真空泵产品收入分别为￥17,550.23 万元、￥10,517.29 万元和￥5,308.94 万元，受光伏行业景气度下行影响明显收缩。

中科仪

本页 · 产业链位置

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下游 · 谁在采购

半导体设备与核心材料6

存储体系3

晶圆代工2

其他6

大连Intel日立6501.T深圳市鹏芯微集成电路制造中芯国际集成电路制造隆基绿能科技上海积塔半导体

竞争对手

半导体干式真空泵市场长期由荏原制作所、Edwards、Kashiyama 等海外厂商主导，国内汉钟精机、鲍斯股份、通嘉科技等亦参与竞争。中科仪的位置不是全品类通用泵，而是依托中科院真空科研平台切入集成电路制造环节，形成对长鑫存储、长江存储等本土半导体厂的配套能力。

公司壁垒来自国家级研发平台、长期真空技术积累和国产替代窗口；短板同样明显：综合毛利率下行，光伏干泵收入收缩，利润受非经常性因素和下游资本支出周期影响较大。海外龙头与国内竞争者同时存在，使其份额与盈利稳定性仍需持续验证。

指标	2023	2024	2025	2026E	2027E	2028E	来源
营业收入（百万元）	—	1,082	1,291	1,663	2,200	2,904	华源证券
归母净利润（亿元）	6.00	1.93	8.44	2.30	2.80	3.50	华源证券
营业收入同比增长率（%）	—	27.06	19.30	28.77	32.35	31.95	华源证券
综合毛利率（%）	33.02	29.44	26.78	—	—	—	山西证券
扣非归母净利润（亿元）	0.73	0.88	1.03	—	—	—	开源证券

数据来源：华源证券 2026-07-16；山西证券 2026-04-28；开源证券 2026-04-12。

多头（催化）

空头（风险）

利润波动与非经常性扰动 — 归母净利润 2023 年￥6.00 亿元、2024 年￥1.93 亿元、2025 年￥8.44 亿元，而 2025 年扣非归母净利润为￥1.03 亿元，利润质量不稳定。
毛利率持续回落 — 综合毛利率从 2023 年 33.02% 降至 2025 年 26.78%，干式真空泵毛利率从 2023 年 31.58% 降至 2025 年 24.23%。
光伏下游拖累 — 光伏领域干式真空泵收入从 2023 年￥17,550.23 万元降至 2025 年￥5,308.94 万元，显示非半导体业务受行业景气下行冲击。
海外与国内竞争挤压 — 荏原制作所、Edwards、Kashiyama 等海外厂商长期占据真空设备市场，汉钟精机、鲍斯股份、通嘉科技等国内企业也在干式真空泵领域竞争。
客户集中与资本支出周期 — 2022-2025 年前五大客户收入占比介于 41.84% 至 44.06%，业绩易受主要客户扩产节奏影响。

正文双链：公司子行业概念