BCD 工艺(Bipolar-CMOS-DMOS)
PMIC 的"地基工艺"。把**双极型(Bipolar)+ 互补 MOS(CMOS)+ 横向扩散 MOS(DMOS)**三种器件在同一片硅上集成,是 DrMOS / 多相控制器 / PMBus 这类"模拟 + 数字 + 大功率"混合芯片唯一可用的工艺平台。
定义
**BCD(Bipolar-CMOS-DMOS)**由 STMicroelectronics 在 1986 年首次商业化,是在同一硅基板上集成三种互补器件的工艺平台:
| 器件 | 用途 |
|---|---|
| Bipolar(双极型) | 高精度模拟(基准源、运放、ADC) |
| CMOS | 数字逻辑 + 低功耗模拟(控制器、PMBus、寄存器) |
| DMOS(Double-Diffused MOS) | 大电流功率开关(MOSFET 上下管、Driver) |
三者集成在一颗芯片上 → PMIC 既能"算"又能"驱"还能"通讯"。
节点演进
| 工艺节点 | 主流玩家 | 应用 |
|---|---|---|
| 0.35-0.18μm | 大多数 PMIC | 家电、消费 PMIC |
| 130nm | Infineon / Texas Instruments | 服务器、汽车 PMIC |
| 90nm | Infineon / STMicroelectronics / 华虹 | 主流 DrMOS |
| 55nm | 芯联集成(国内首个)/ 台积电 | 高端 DrMOS、AI 服务器多相 |
| 40nm | 台积电 / STMicroelectronics | 下一代高频 PMIC |
55nm BCD 是当前 AI 服务器 DrMOS 的主流工艺需求 — 同时承载大电流、高频、PMBus 数字逻辑、Smart Power Stage 遥测。
为什么 BCD 难?
- 三种器件同时优化 — Bipolar 要高 fT、CMOS 要低漏电、DMOS 要低 RDS(on),工艺窗口冲突
- 高压隔离 — DMOS 通常 12-100V,需要深 N 阱、深 P 阱、SOI 衬底
- 掩膜数多 — 一片 55nm BCD 掩膜可达 45-55 层(vs 普通 CMOS 28 层)
- 资本支出大 — 一条 12 寸 55nm BCD 产线投资 ¥80-150 亿
- 认证周期长 — 汽车规格需 3-5 年验证
在 AI 产业链中的角色
BCD 是 2-11-供电网络 与 2-10-半导体设备与核心材料 的关键交集:
- 晶圆代工方:华虹 / 中芯国际 / 台积电 高端 BCD 产能稀缺
- IDM/Fab-lite:芯联集成 自建 55nm BCD 线(国内首个)、STMicroelectronics / Infineon / Texas Instruments 自有 IDM
- Fabless PMIC:杰华特 / 晶丰明源 / 圣邦股份 通过华虹/中芯流片
玩家格局
国际 IDM
- STMicroelectronics — BCD 鼻祖,BCD9/BCD10 系列
- Texas Instruments — 自家 LBC 系列(功能等价 BCD)
- Infineon — Smart Power Technology
- NXP — A-BCD
晶圆代工
中国 Fab-lite / IDM
- 芯联集成 ★★★★★ — 国内首个 55nm BCD 集成 DrMOS 量产(2024)
演进趋势
- 节点微缩:90nm → 55nm → 40nm(性能 + 集成度)
- 高压扩展:12-30V → 60-100V(48V直流母线 适配)
- GaN-on-Si BCD 融合 — 把 GaN功率器件 与 BCD 同芯封装
- 嵌入式 NVM — BCD + eFlash → 存控制代码
- 国产替代 — 华虹/中芯/芯联集成产能扩张,2025-2027 国产 BCD 产能翻倍
关联
⚔ competitor:: 华润微 芯联集成 ↑ up::2-10-半导体设备与核心材料 台积电 华虹 中芯国际 ↓ down::DrMOS 多相电源 PMBus 2-01-核心逻辑芯片 ∈ belongs_to::2-11-供电网络