AI产业链地图·知识库 OPC · 概念
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第二层 · 更新 2026·08·05
概念 技术 / 术语

OPC

Optical Proximity Correction · 光学邻近效应修正

当光刻图形特征尺寸 < 光波长,衍射效应会让实际成像偏离设计图形。OPC 通过反向修正掩膜(mask)图形(加 serif、bias、SRAF 等)补偿衍射,使晶圆上得到接近设计的图形

OPC CONCEPT · 概念
首次提出
1990s
归属层
第二层 · 芯片系统
关键参与方
Synopsys, Mentor, 全芯智造
反向引用
4 处 · 来自 4

OPC(Optical Proximity Correction)

光学邻近效应修正 — 提升光刻精度的核心工具,是制造类 EDA 的关键环节(据 EDA电子设计自动化)。

是什么

是先进工艺(28nm 以下尤其 7nm/5nm/3nm)必备技术,EUV 时代更复杂(多重图形 / 反向光刻 ILT)。

全球玩家

  • Synopsys Proteus — OPC 主流工具
  • Siemens EDA Calibre nmOPC — OPC 龙头之一
  • 这是少数能进入晶圆厂 production flow 的 EDA 工具

国产代表

战略意义

  • 制造类 EDA 是国产 EDA 突破的"专精特新"路径
  • OPC 与晶圆厂工艺深度绑定,国产 OPC 是国产光刻配套链的最后一公里
上游 · 谁给它供货
供应
OPC
本页 · 产业链位置
供货
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关键来源

正文双链:子行业公司概念