TCAD（Technology Computer-Aided Design）
工艺计算机辅助设计，模拟半导体器件的物理过程，是新工艺开发的必备工具（据2-07）。
是什么
TCAD 用数值方法仿真半导体制造过程中的物理现象：
- 离子注入（Ion Implantation）
- 扩散（Diffusion）
- 氧化（Oxidation）
- 刻蚀（Etching）
- 沉积（Deposition）
并仿真器件电学特性，为先进工艺（如 3nm / 2nm）开发提供"数字孪生"环境，避免昂贵的流片试错。
全球格局
- Synopsys Sentaurus — 业界事实标准
- Siemens EDA — TCAD 工具线
国产
- 纳能微 — 国内半导体相关代表企业。概伦电子 拟通过发行股份及支付现金收购其 45.64% 股权（2025-09 公告，截至 2026-03 仍需上交所审核 + 证监会注册；交易前纳能微为 锐成芯微 54.36% 控股子公司，本次同步收购锐成芯微 100% 股权，完成后纳能微成为概伦全资子公司）（据概伦电子重组公告 2025-09，T1）
- 概伦电子 拟通过该收购补强能力，形成"建模 → 仿真 → 制造"纵向链条
与 EDA 流程关系
TCAD 处于 EDA 流程最上游：工艺仿真（TCAD）→ 器件建模 → SPICE 电路仿真 → 数字 / 模拟设计。
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关键来源
已废弃叙述
2026-05-29 事实订正：纳能微股权关系（原"概伦电子 持股 45.64%" → 订正为"拟收购 45.64% 股权、需监管审批"，依据概伦电子 2025-09 重大资产重组公告 T1）
订正说明：截至 2026-03 该收购仍处审批中（非已完成持股）；45.64% 为外部股东持有部分，交易前纳能微由锐成芯微 54.36% 控股。原表述把"拟收购比例"误作"已持股比例"。